Loại lựa chọn đơn vị chân không
Jun 30, 2018| 1. Thành phần và phân loại các đơn vị chân không
Thiết bị chân không thường bao gồm các thành phần sau: máy bơm chân không, thiết bị đo chân không, van chân không, ống chân không và một số thành phần khác như máy thổi khí, khớp chân không, bình chứa khí, ống thổi, bộ hút bụi và rơle chân không.
Theo áp lực làm việc của đơn vị, có các đơn vị chân không thô (> 1330Pa), các đơn vị chân không thấp (1330 ~ 0.13Pa), các đơn vị chân không cao (0.13 ~ 1.3x10-6Pa), các đơn vị chân không siêu cao (1.3x10-6) ) ~ 1,3 × 10-11 Pa) và bộ chân không rất cao (<1,2 ×="" 10-11="">
2. Đơn vị chân không thấp
Các tính năng chính của thiết bị hút chân không thấp là áp suất làm việc cao và độ dịch chuyển lớn, nhưng tốc độ bơm thấp hơn tốc độ bơm chân không cao. Nó chủ yếu được sử dụng để bơm thô buồng chân không và một số thiết bị chân không cần áp lực làm việc cao như thiết bị xả chân không, thiết bị ngâm chân không, bộ lọc chân không, thiết bị khử khí chân không, thiết bị sấy chân không và vân vân. Các máy bơm chính của máy hút chân không thường là máy bơm chân không qua lại, bơm chân không dầu, máy bơm phun nước, máy bơm phun hơi nước, máy bơm vòng nước, máy bơm phun hơi dầu, máy hút phân tử sàng và máy bơm rễ. Khi sử dụng thiết bị hút chân không thấp, nó cũng cần thiết để cấu hình các bộ phận như bộ thu bụi và bộ lọc khô theo các yêu cầu quy trình về mức độ sạch sẽ và độ ẩm của khí được bơm.
3. Đơn vị chân không cao
3.1 Chọn máy bơm chính. Các máy bơm chính có thể được bơm khuếch tán, bơm phân tử, máy bơm ion phún xạ, bơm titan, máy bơm đông lạnh và như vậy.
3.2 Chọn máy bơm dự phòng và ống lưu trữ khí (chống sốc, rút ngắn chu trình làm việc, ngăn chặn một lượng lớn thông hơi trong buồng chân không, và ổn định áp suất đầu ra của bơm khuếch tán)
4. Đơn vị chân không siêu cao
Chân không cuối cùng của bơm chính cao, tỷ lệ rò rỉ thấp, và nó có khả năng chống nướng ở 200-450 ° C.
4.1 Đơn vị bơm khuếch tán: giảm chảy ngược và kiểm soát ô nhiễm.
4.2 Đơn vị bơm phân tử: Tỷ lệ nén đối với hydro là nhỏ, và lượng khí còn lại chủ yếu là hydro.
4.3 Đơn vị bơm ion phun: Thường được sử dụng kết hợp với bơm titan.
4.4 Đơn vị bơm đông lạnh: không gây ô nhiễm.