Kỹ thuật lắng đọng hơi và phân loại của họ

Kỹ thuật lắng đọng hơi và phân loại của chúng

Lắng đọng hơi là một kỹ thuật để hình thành các lớp màng chức năng trên bề mặt của chất nền. Đó là sự lắng đọng của các lớp màng trung bình hoặc nhiều lớp, đơn giản hoặc hỗn hợp trên bề mặt sản phẩm bằng cách sử dụng các phản ứng hóa học hoặc (và) của chất trong pha khí, để có được các tính chất tuyệt vời khác nhau cần có trên bề mặt của sản phẩm.

Là một phương pháp phủ bề mặt, bước cơ bản của lắng đọng hơi là hóa hơi, vận chuyển và cuối cùng là lắng đọng các vật liệu cần được mạ. Đặc điểm chính của nó là cho dù các vật liệu ban đầu cần được mạ là rắn, lỏng hay khí, chúng phải được chuyển thành hình thái pha hơi để di chuyển trong quá trình vận chuyển và cuối cùng đến bề mặt phôi để lắng đọng và ngưng tụ.

Có hai loại lắng đọng hơi, lắng đọng hơi hóa học và lắng đọng hơi vật lý.

Lúc đầu, TiCl lỏng dễ bay hơi được làm nóng nhẹ để thu được khí TiCl và khí NH3, được đưa vào buồng phản ứng nhiệt độ cao cùng nhau. Các khí phản ứng này đã bị phân hủy, và sau đó các phản ứng hóa học theo nguyên tắc nhiệt động lực học được thực hiện trên bề mặt rắn ở nhiệt độ cao để tạo ra TiN và HCL. HCL đã được loại bỏ và TiN được lắng đọng trên bề mặt rắn để tạo thành một màng rắn cứng. Lắng đọng hơi hóa học là quá trình lắng đọng chất rắn không bay hơi được tạo thành bởi phản ứng hóa học trên bề mặt rắn giữa hợp chất dễ bay hơi và chất khí có chứa các yếu tố cấu thành màng mỏng.

Đồng thời, người ta đặt một loại lắng đọng hơi khác, thông qua sự gia nhiệt ở nhiệt độ cao của các hợp chất kim loại hoặc kim loại bay hơi thành pha khí hoặc qua điện tử, plasma và photon có thể tích điện cho các hạt kim loại hoặc hợp chất bắn ra các nguyên tử tương ứng , các ion, phân tử (khí), lắng đọng thành một màng rắn trên bề mặt rắn, không liên quan đến các phản ứng hóa học (phân hủy hoặc kết hợp), được gọi là lắng đọng hơi vật lý, với sự phát triển công nghệ lắng đọng hơi và hai loại trên Sự lắng đọng hơi đều có kỹ thuật và nội dung công nghệ mới, sự giao thoa giữa hai loại, rất khó phân biệt nghiêm ngặt giữa hóa học và vật lý. Ví dụ, tia plasma và ion được đưa vào sự bay hơi và phun ra của công nghệ lắng đọng hơi vật lý truyền thống để tham gia vào quá trình phủ. Đồng thời, khí phản ứng được đưa vào quá trình. Phản ứng hóa học cũng có thể được thực hiện trên bề mặt rắn để tạo màng pha rắn tổng hợp mới, được gọi là mạ phản ứng. Khí phản ứng N2 được đưa vào plasma titan (Ti) phún xạ và TiN được tổng hợp làm ví dụ. Điều này có nghĩa là sự lắng đọng hơi vật lý cũng có thể liên quan đến các phản ứng hóa học. Ví dụ, thông khí trong phản ứng của metan với sự trợ giúp của Mục tiêu W phóng điện cực âm, plasma trong Ar, W dưới tác dụng của quá trình phân hủy metan và bề mặt rắn để tái kết hợp các liên kết carbon, tạo ra màng carbon giống như kim cương W, người ta thường sử dụng quá trình lắng đọng trong quá trình lắng đọng hơi hóa học , nhưng đó là trong một công nghệ lắng đọng hơi vật lý điển hình, mạ ion hồ quang kim loại. Ngoài ra, người ta đưa plasma, công nghệ chùm ion vào quy trình lắng đọng hơi hóa học truyền thống, phản ứng hóa học không hoàn toàn tuân theo nguyên lý nhiệt động học truyền thống, bởi vì Huyết tương có hoạt tính hóa học tốt hơn, có thể thấp hơn nhiều so với thực hiện nhiệt động học phản ứng hóa học truyền thống dưới nhiệt độ của phản ứng, phương pháp được gọi là lắng đọng hơi hóa chất hỗ trợ plasma (lắng đọng hơi hóa học hỗ trợ Plasm, PACVD; Một số vật liệu được gọi là lắng đọng hơi hóa chất tăng cường plasma (PECVD), mang lại sự lắng đọng hơi hóa học có ý nghĩa vật lý hơn.

Bây giờ, sự khác biệt duy nhất giữa lắng đọng hơi hóa học và lắng đọng hơi vật lý là hình thái của vật liệu phủ. Các hợp chất dễ bay hơi trước đây của USES hoặc các vật liệu dạng khí, trong khi các hợp chất sau này sử dụng các vật liệu rắn (hoặc lỏng). Sự phân biệt này dường như đã mất đi bản chất của định nghĩa ban đầu.

Chúng tôi theo các thói quen hiện có, chủ yếu ở dạng vật liệu mạ để phân biệt sự khác biệt giữa lắng đọng hơi hóa học, lắng đọng hơi vật lý, vật liệu mạ rắn (lỏng) qua nhiệt độ cao và bay hơi, phún xạ, chùm electron, plasma, tia ion, chùm tia laser và hồ quang, và các dạng năng lượng khác được tạo ra bởi các nguyên tử khí, phân tử, vận chuyển ion (khí, plasma), ngưng tụ chất rắn trên bề mặt (bao gồm các phản ứng hóa học với các chất phản ứng pha khí khác tạo ra sản phẩm phản ứng), để tạo ra chất rắn quá trình màng pha được gọi là lắng đọng hơi vật lý.

IKS PVD manufacture sản xuất thiết bị sơn chân không lắng đọng hơi vật lý ， liên hệ với iks.pvd@foxmail.com