Ngộ độc mục tiêu trong phún xạ Magnetron là gì? Các yếu tố ảnh hưởng và giải pháp chung là gì?
Jun 11, 2018| 1. Nhiễm độc mục tiêu
◆ Tích lũy ion dương
Khi mục tiêu bị nhiễm độc, một lớp cách điện được hình thành trên bề mặt mục tiêu. Khi các ion dương đạt tới bề mặt mục tiêu catôt, chúng không thể được đưa trực tiếp vào nó do lớp chắn của lớp cách điện, nhưng tích lũy trên bề mặt mục tiêu. Vì vậy, các lĩnh vực lạnh dễ dàng tạo ra cũng như các hồ quang xả - hồ quang ánh sáng. Vì vậy, sự phát xạ âm cực không thể tiến hành.
◆ Anode biến mất
Khi mục tiêu bị nhiễm độc, một lớp cách điện cũng được đặt trên tường của buồng chân không nối đất. Các electron tiếp cận cực dương không thể nhập cực dương và biến mất.
2. Ảnh hưởng đến yếu tố ngộ độc mục tiêu
Các yếu tố ảnh hưởng đến ngộ độc mục tiêu chủ yếu là tỷ lệ khí phản ứng và khí phún xạ. Khí phản ứng quá mức sẽ gây ngộ độc đích. Trong quá trình của quá trình phún xạ phản ứng, vùng kênh phún xạ trên bề mặt mục tiêu được bao phủ bởi sản phẩm phản ứng, hoặc sản phẩm phản ứng được bóc ra để lộ lại bề mặt kim loại, giao dịch và thay phiên nhau.
Nếu tỷ lệ hình thành của hợp chất lớn hơn tỷ lệ mà hợp chất bị tước đi, diện tích được bao phủ bởi hợp chất tăng lên. Tại một sức mạnh nhất định, lượng khí phản ứng liên quan đến sự hình thành các hợp chất tăng lên, và tốc độ hình thành hợp chất tăng lên. Nếu lượng khí phản ứng tăng quá mức, khu vực được bao phủ bởi hợp chất tăng lên.
Nếu dòng chảy của khí phản ứng không thể điều chỉnh kịp thời, thì tốc độ tăng của vùng phủ ghép hợp chất không thể bị triệt tiêu, và kênh phún xạ sẽ được bao phủ thêm bởi hợp chất, khi mục tiêu phún xạ được bao phủ hoàn toàn bởi hợp chất, mục tiêu bị nhiễm độc hoàn toàn.
3. Giải pháp ngộ độc mục tiêu
◆ Áp dụng công suất tần số trung bình hoặc công suất RF.
◆ Áp dụng một vòng khép kín để kiểm soát lượng khí phản ứng.
◆ Sử dụng các mục tiêu song sinh
◆ Kiểm soát sự biến đổi của chế độ lớp phủ: Trước khi sơn, thu thập đường cong hiệu ứng trễ của ngộ độc mục tiêu, làm cho dòng đầu vào được kiểm soát ở phía trước ngộ độc mục tiêu, và đảm bảo rằng quá trình luôn ở chế độ trước khi tỷ lệ lắng xuống giảm mạnh.
