Các yếu tố của màng mỏng không đồng đều gây ra bởi Magnetron tạo máy hút chân không

Các yếu tố không đồng đều phim lớp gây ra bởimagnetron thổi vacuum máybao gồm ba khía cạnh: Máy hút nước, từ trường và, argon khí.

Nguyên lý làm việc của cácmagnetron thổi vacuum máylà theo kỳ hút chân không, các electron từ trường vuông góc để bắn phá argon và tạo thành các ion argon, sau đó bắn phá các mục tiêu vật liệu, do đó ion mục tiêu có thể được lắng đọng trên bề mặt của mảnh làm việc để dạng màng mỏng.

Bang chân không cần hệ thống bơm để kiểm soát, và lỗ thông hơi mỗi cần phải đồng thời actuated và phù hợp. Nếu các bơm không đồng nhất, áp suất bên trong buồng chân không sẽ không đồng đều. Áp lực này có một số ảnh hưởng đến sự chuyển động của các ion. Ngoài ra, thời điểm bơm phải được kiểm soát. Quá ngắn sẽ gây ra hút không đủ, nhưng nó là quá dài và một chất thải của các nguồn tài nguyên.

Từ lĩnh vực hoạt động orthogonally, nhưng nó không thể làm cho cường độ từ trường 100% thống nhất. Trong trường hợp các lĩnh vực từ chung là mạnh mẽ, độ dày của bộ phim là lớn, nhưng nó là nhỏ trên trái, vì vậy nó sẽ gây ra mâu thuẫn của độ dày của bộ phim. Tuy nhiên, trong quá trình sản xuất, unevenness phim do không đồng nhất của từ trường không phải là phổ biến.

Argon khí đồng nhất cũng ảnh hưởng đến tính thống nhất của bộ phim, và các nguyên tắc tương tự như chân không. Bởi vì, argon vào buồng chân không, áp lực bên trong buồng sẽ thay đổi. Áp lực đều có thể kiểm soát tính đồng nhất của độ dày màng của máy hút chân không sơn thổi từ trường.

Trong hơn một thập kỷ,IKSchuyên về tất cả các loại chân không sơn thiết bị ứng dụng trong sản xuất, dành riêng cho việc nghiên cứu và phát triển và sản xuất máy hút chân không, với công nghệ mới nhất liên tục sản phẩm đáp ứng nhu cầu thị trường của thiết bị mạ chân không , cung cấp cho khách các thiết bị và giải pháp công nghệ tùy chỉnh.