Các yếu tố ảnh hưởng đến chất lượng quy trình PECVD chủ yếu bao gồm các khía cạnh sau
Jul 06, 2023| Hai yếu tố cần được xem xét khi lựa chọn khoảng cách đệm trong khoang PECVD:
(1) Điện áp chiếu sáng: Việc lựa chọn khoảng cách phải làm cho điện áp chiếu sáng càng thấp càng tốt để giảm điện thế plasma và giảm thiệt hại cho chất nền.
(2) khoảng cách giữa các tấm và áp suất không khí trong khoang: khi khoảng cách giữa các tấm lớn, thiệt hại đối với chất nền nhỏ, nhưng khoảng cách không được quá lớn, nếu không sẽ làm tăng hiệu ứng biên của điện trường và ảnh hưởng đến tính đồng nhất của lắng đọng. Kích thước của buồng phản ứng có thể làm tăng năng suất, nhưng nó cũng có tác động đến độ đồng đều của độ dày.
Công ty IKS PVD, máy sơn trang trí, máy sơn công cụ, máy sơn DLC, máy sơn quang học, dây chuyền sơn chân không PVD, dự án chìa khóa trao tay có sẵn. Liên hệ với chúng tôi ngay bây giờ, Email: iks.pvd@foxmail.com
