Công suất tần số vô tuyến PECVD
Jul 08, 2023| Công suất của tần số vô tuyến càng lớn thì năng lượng bắn phá của các ion càng lớn, điều này có lợi cho việc cải thiện chất lượng của màng lắng đọng. Bởi vì việc tăng công suất sẽ làm tăng nồng độ của các gốc tự do trong khí, do đó tốc độ lắng đọng tăng tuyến tính với công suất, khi công suất tăng đến một mức độ nhất định, khí phản ứng bị ion hóa hoàn toàn, các gốc tự do đạt đến trạng thái bão hòa và tốc độ huy động có xu hướng ổn định.
Công ty IKS PVD, máy sơn trang trí, máy sơn công cụ, máy sơn DLC, máy sơn quang học, dây chuyền sơn chân không PVD, dự án chìa khóa trao tay có sẵn. Liên hệ với chúng tôi ngay bây giờ, Email: iks.pvd@foxmail.com

Tiếp theo: Hệ thống kiểm soát lưu lượng và khí PECVD
→
Gửi yêu cầu


