Hệ thống kiểm soát lưu lượng và khí PECVD

Nguồn khí cung cấp cho hệ thống PECVD hầu như luôn được cung cấp bằng các bình khí đặt trong tủ khí với nhiều thiết bị an toàn và được đưa đến buồng xử lý của PECVD thông qua bảng điều khiển trên tủ khí và đường ống.

Trong quá trình lắng đọng, lượng khí phản ứng sẽ ảnh hưởng đến tốc độ lắng đọng và tính đồng nhất của nó, do đó cần phải kiểm soát chặt chẽ lưu lượng khí và đồng hồ đo lưu lượng khối lượng thường được sử dụng để đạt được sự kiểm soát chính xác.

Công ty IKS PVD, máy sơn trang trí, máy sơn công cụ, máy sơn DLC, máy sơn quang học, dây chuyền sơn chân không PVD, dự án chìa khóa trao tay có sẵn. Liên hệ với chúng tôi ngay bây giờ, Email: iks.pvd@foxmail.com