Hệ thống làm mát và hệ thống truyền động của thiết bị PVD Coating
Mar 31, 2018| Hệ thống truyền động
Hệ thống truyền động cho phép chất nền chảy từ việc đưa chất nền vào thiết bị để lắng đọng phún xạ, ra khỏi thiết bị sau khi hoàn thành quá trình xử lý. Hệ thống truyền động bao gồm động cơ lái, bánh xe cuộn, bộ biến tần và vân vân. Lý do để thêm hệ thống truyền động là:
(1) Đảm bảo lớp phủ dày đồng đều được phân bố rộng rãi.
(2) Dễ dàng nhận ra hộp số tự động.
Hệ thống làm mát
Hệ thống làm mát chủ yếu bao gồm bơm phân tử nước tuần hoàn, buồng, nhóm bơm và nước tuần hoàn làm mát động cơ truyền động. Chức năng chính của nó là để làm mát buồng chân không, bơm, ổ đĩa, cung cấp điện, vv Các yêu cầu của nước làm mát là:
(1) Nhiệt độ: 17 ～ 22 ° C;
(2) Áp suất: 2 ~ 3e0.05Pa;
(3) Các hạt từ tính cần được loại bỏ khỏi nước, và nước nên được làm mềm, pH = 6 ~ 8.